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微导纳米获得实用新型专利授权:“传送装置和镀膜设备”

13 05月
作者:小微|{/foreach}{/if}

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“传送装置和镀膜设备”,专利申请号为CN202421897962.7,授权日为2025年5月13日。

微导纳米获得实用新型专利授权:“传送装置和镀膜设备”
图片来源于网络,如有侵权,请联系删除

专利摘要:本实用新型涉及镀膜技术设备领域,具体而言,涉及一种传送装置和镀膜设备。该传送装置包括承载件、非接触式支撑组件以及驱动组件;承载件用于承载基片;非接触式支撑组件用于以非接触式方式支撑承载件,并使其相对于竖直方向倾斜;驱动组件与承载件传动连接,驱动组件用于传送承载件。该传送装置能够在传动的过程中,避免基片出现倾倒,同时减小传动过程中的摩擦振动,从而提高传动的平稳性,由此,能够提高镀膜质以及提高膜层的均匀性。

微导纳米获得实用新型专利授权:“传送装置和镀膜设备”
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今年以来微导纳米新获得专利授权31个,较去年同期增加了19.23%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增50.78%。

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数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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